特許
J-GLOBAL ID：200903003860306608
画像のパターン欠陥検出方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118593
公開番号（公開出願番号）：特開平9-305764
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 ずれの無い基準パターン画像を作成して、ずれを誤検出することなく、且つ、ずれの中に埋もれていた微小の欠陥までも、その欠陥本来の大きさで検出可能とする。【解決手段】 被検査パターン画像f(x,y)自体に対して、パターンの前景と背景の境界線に沿った方向にのみ平滑化を行ったものを基準パターン画像h(x,y)として、パターン比較法による欠陥検出を行う。
請求項（抜粋）：
基準パターン画像と被検査パターン画像を比較し、両画像間の異なる部分を欠陥として検出する画像のパターン欠陥検出方法において、前記被検査パターン画像自体に対して、パターンの前景と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行ったものを、前記基準パターン画像とすることを特徴とする画像のパターン欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G06T 7/00
, G01B 11/24
, G01N 21/88
G06F 15/70 465 Z
, G01B 11/24 F
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 405 A
