特許
J-GLOBAL ID：200903003865723266
真空装置用ヒータプレート及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347398
公開番号（公開出願番号）：特開平9-165681
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】[課題] 放出ガスが少なく、熱膨張係数が小さい真空装置用ヒータプレートを提供すること。[解決手段] シースヒータ11を埋め込んだアルミニウム/コージエライト=70/30(重量比)からなる厚さ18mmのアルミニウム・コージエライト複合体の板材12の全面に対し厚さ1mmのアルミニウム圧延材13を熱間等方加圧によって接合して被覆する。
請求項（抜粋）：
シースヒータを埋め込んだアルミニウム・セラミックス複合体の板材からなり、前記シースヒータの端子部以外の全面がアルミニウム圧延材で被覆されていることを特徴とする真空装置用ヒータプレート。
IPC (8件)：
C23C 14/50
, C22C 1/10
, C23C 14/24
, C23C 14/34
, C23C 16/46
, C23F 4/00
, C25D 11/04
, C25F 3/20
C23C 14/50 E
, C22C 1/10 G
, C23C 14/24 K
, C23C 14/34 K
, C23C 16/46
, C23F 4/00 Z
, C25D 11/04 E
, C25F 3/20
