特許

J-GLOBAL ID：200903003868612040

電気的特性測定用プローブ装置

発明者： 工藤 秀継 ,  曽根 和義 ,  吉沢 茂 ,  森井 彰
出願人/特許権者： 株式会社ベクトルセミコンダクタ
代理人 (1件)： 吉原 省三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342767
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005197
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 測定時に外界よりの電波等による影響を低減でき、又試料台11自身より発生するノイズN1、N2及びリーク電流I1、I2の影響を最小限に低減することができる微少な電気的特性の測定が可能なプローブ装置を提供せんとするものである。【構成】 測定針13a及び13bから電流や電流容量等を計測する計測器15に繋げられた計測線1は、該計測線1を中心軸電極として絶縁体を介挿せしめた三重電極構造で構成されており、そのうち中間軸電極は1aは計測器15のガード用に繋げられると共に、最外軸電極1bはシールドボックス10と計測器15のシャーシに接地せしめられている。

請求項（抜粋）：

測定対象となる試料を載せる試料台と、その試料台上の試料に接触せしめられる測定針とを有し、外部で計測器と接続して前記試料の電気的特性の評価を行う電気的特性測定用プローブ装置において、前記計測器から試料直前の測定針先端側までの間を連絡する計測線の構成につき、該計測線を中心軸電極として絶縁体を介挿せしめた三重電極構造とし、中間軸電極をガード用に前記計測器に繋ぐと共に、最外軸電極を計測器のシャーシに繋いで計測器のシャーシと同電位になるようにしたことを特徴とする電気的特性測定用プローブ装置。

IPC (2件)：

G01R 1/06 ,  H01L 21/66