特許

J-GLOBAL ID：200903003871158554

コンテナのドアの施錠及び開錠のための装置

発明者： ヴェルナー シェラー ,  カール シューベルト ,  アンドレアス マゲス ,  アンドレアス アントン
出願人/特許権者： イェノプティック アクチェン ゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-128360
公開番号（公開出願番号）：特開平9-088398
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】 コンテナのドアの施錠及び開錠の装置において、施錠及び開錠の際簡単に方法にて操作依存性を高め、自動操作における搬送コンテナの開閉を確実にするとともに、粒子の発生を抑制する。【解決手段】 外側及び内側への移動が可能なドア2の内部にある施錠エレメント7、8、9、10は、曲線の経路に沿つて外側へ移動する際コンテナ1を閉鎖するためにコンテナ1のくぼみ34中に嵌挿する。ウェーハ状対象物の搬送コンテナ1に対する除去及び装填が、ウェーハ状対象物の表面に対して平行な面において個々に行われ、コンテナカバーは側方から除去及び挿入される。

請求項（抜粋）：

コンテナのドアの施錠及び開錠のための装置であって、特に外側及び内側への移動が可能なドアの内部にあり、外側へ移動させる際、コンテナを閉鎖するためにコンテナのくぼみに嵌挿される施錠エレメントを有するウェーハ状対象物を搬送するためのコンテナにおいて、施錠エレメント(7,8,9,10,40,41)のくぼみ(34,52)への嵌挿が曲線状の経路に沿つてなされることを特徴とする装置。