静電チャック及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247296
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077185
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【解決手段】導電体電極をセラミックスからなる絶縁性誘電体層で被覆してなるチャック機能部と、該チャック機能部を支持するプレート部とを互いに接合してなる静電チャックにおいて、上記プレート部の非接合面側に凹状溝が形成され、この凹状溝内にヒーターが配設されていることを特徴とする静電チャック。【効果】本発明の静電チャックは、導電性、半導電性、絶縁性の対象物を強く静電的に吸着保持し、容易に脱着することができ、半導体や液晶の製造プロセスに有用であり、特に本発明によれば、高温プロセスであるCVD、スパッタリング等においてもチャック機能部とプレート部とが充分な接合性を有しており、割れ、剥離、反りの発生を大幅に抑制し、かつ静電吸着力の安定性が向上すると共に、静電チャック全体の均熱性を良好にするものである。

請求項（抜粋）：

導電体電極をセラミックスからなる絶縁性誘電体層で被覆してなるチャック機能部と、該チャック機能部を支持するプレート部とを互いに接合してなる静電チャックにおいて、上記プレート部の非接合面側に凹状溝が形成され、この凹状溝内にヒーターが配設されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/08 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/08 A , H02N 13/00 D

Fターム (15件)：

3C016AA01 , 3C016BA02 , 3C016CE05 , 3C016GA10 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA08 , 5F031HA16 , 5F031HA37 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA31 , 5F031MA32 , 5F031PA18

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