特許

J-GLOBAL ID：200903003878869537

高周波電源装置及びレーザ発振装置

発明者： 渡邊 良哉
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-014199
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221378
出願日： 1994年02月08日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 放電性負荷たるレーザヘッド内のレーザガスの異常を速やかに検出する。【構成】 高周波電源装置37は、直流電源部12及びインバータ部14からなる高周波電源部11と、この高周波電源部11からの高周波電源を高周波交流放電によるレーザガス励起のレーザヘッド28に供給するマッチング回路16とから構成されている。制御装置32のPLL制御部20は、高周波電源部11の出力電圧VAと出力電流IAとを検出して、両者の位相が略一致するようにインバータ制御部23を介してインバータ部14の出力周波数をPLL制御する。そして、制御装置32は、高周波電源部11の立上げ時に予めプログラムされた出力設定値により自動運転を行なって、所定の条件において直流電源監視部34が放電開始を検出しなかった場合及び前記所定の条件以外において直流電源監視部34が放電開始を検出した場合にレーザヘッド28のレーザガスの異常と判定する。

請求項（抜粋）：

商用交流電源を直流電源に変換する電圧形直流電源部及びこの電圧形直流電源部の直流電源を高周波電源に変換する電圧形インバータ部からなる高周波電源部と、この高周波電源部のインバータ部と放電性負荷との間に設置されて、負荷電流と前記インバータ部の出力電圧とを略1対1の関係に整合するインピーダンス整合手段と、前記インバータ部の出力電圧と出力電流との位相を検出し、これらの位相が略一致するように前記インバータ部の出力周波数を制御するとともに、前記高周波電源部の高周波出力の設定をその直流電源部の出力電圧をパラメータとして行なう制御装置と、前記放電性負荷の放電開始を検出する放電開始検出手段とを具備し、前記制御装置は、前記高周波電源部の立上げ時に予めプログラムされた出力設定値により自動運転を行なって、所定の条件において前記放電開始検出手段が放電開始を検出しなかった場合及び前記所定の条件以外において前記放電開始検出手段が放電開始を検出した場合に前記放電性負荷の異常と判定するように構成されていることを特徴とする高周波電源装置。