特許

J-GLOBAL ID：200903003880955602

GZO焼結体およびその製造方法

発明者： 大城 梓
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 哲彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-026422
公開番号（公開出願番号）：特開2009-184876
出願日： 2008年02月06日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】酸化マグネシウムを増量したGZO焼結体とその製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛粉末と酸化ガリウム粉末とを湿式法により混合し、該混合物に酸化マグネシウム粉末を添加し、1時間以上10時間以下、湿式法により混合を行ってスラリーを得て、該スラリーを急速乾燥造粒して造粒粉を得て、該造粒粉を成形し、焼成することにより、5〜15質量%の酸化マグネシウムと、1〜10質量%の酸化ガリウムとを含有し、亜鉛とマグネシウムとガリウムの複合酸化物からなり、相対密度が80%以上で、マグネシウムの偏析部の径が10μm以下であるGZO焼結体を得る。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

5〜15質量%の酸化マグネシウムと、1〜10質量%の酸化ガリウムとを含有し、亜鉛とマグネシウムとガリウムの複合酸化物からなり、相対密度が80%以上であり、かつ、マグネシウムの偏析相がないか、または、マグネシウムの偏析部の径が10μm以下であるGZO焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/453 ,  C23C 14/34

FI (2件)：

C04B35/00 P ,  C23C14/34 A

Fターム (21件)：

4G030AA07 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030GA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA16 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC06 ,  4K029DC07 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39

引用特許：

出願人引用 (1件)

• スパッタリングターゲット用ZnO-Ga2O3系焼結体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115764   出願人：住友金属鉱山株式会社