特許

J-GLOBAL ID：200903003888733129

マルチモルフ・アクチュエータと静電ラッチメカニズムとを有するマイクロ・ファブリケーションされたリレー

発明者： ハイマン ダニエル ジェイ ,  ハイマン マーク ケイ ,  ボグダノフ ピーター ディ
出願人/特許権者： エックスコム ワイアレス インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-527504
公開番号（公開出願番号）：特表2005-536014
出願日： 2002年08月08日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

本発明は、1つのマイクロ機械加工されたスイッチング装置の開発にあたって複数のマルチモルフ・アクチュエータ・エレメントと複数の静電状態保持メカニズムとの機能的組合せを取り入れた1つの新しい種類のリレーである。複数のエレメントのこの組合せは、高い信頼性及び低い電力消費を有するマイクロ・ファブリケーションされた複数のリレーにおいてゼロ電力静電容量ラッチングの利点と複数の高力マルチモルフ・アクチュエータの利益とを提供する。前記リレー発明の動作は前記装置のために幾つかの安定状態、すなわち、電力を使用しない1つの受動的状態、前記マルチモルフ・アクチュエータを或る程度の電力で駆動する1つのアクティブ状態、及び、本質的に電力を要することなくスイッチ・レートを静電的に保持する1つの被ラッチ状態とに配慮している。本発明に含まれる複数のマルチモルフ・アクチュエータは圧電マルチモルフ作動メカニズム、サーマル・マルチモルフ作動メカニズム及びバックリング・マルチモルフ作動メカニズムを含む。これらの装置は、複数のアクチュエータ・アーマチュアの1つ以上のセットをカンチレバー構成又は固定ビーム構成で使用し、状態保持のために静電ラッチ電極の1つ以上のセットを使用する。

請求項（抜粋）：

マイクロ・ファブリケーションされた1つのリレーであって、 1つの基板と、 前記基板に取り付けられた1つのベースと、 1つの第1負荷信号ラインと1つの第2負荷信号ラインとを含む複数の負荷信号ラインと、 1つの第1駆動信号ラインと、1つの第2駆動信号ラインと、1つの第1ラッチ信号ラインと、1つの第2ラッチ信号ラインとを含む複数の制御信号ラインと、 1つの複合アーマチュア構造と を備え、前記複合アーマチュア構造が、 1つのラッチ・アーマチュア構造であって、 前記ベースに取り付けられた1つのアンカー領域と、 1つのラッチ偏向領域であって、 前記アンカー領域に取り付けられた1つの第1領域と、 1つの受動的位置及び1つの被ラッチ位置の間を移動し得る1つの第2領域と を備え、 1つの刺激に応答してサイズを1つの第1量だけ変化させる1つの第1材料と 前記刺激によってサイズを1つの第2量だけ変化させる1つの第2材料と を更に備え、前記第1及び第2の量は等しくなくて、前記刺激に応答して前記ラッチ偏向領域に1つの偏向力を加え、前記偏向力は前記第2領域を前記受動的位置から前記被ラッチ位置の方へ移動させるのに役立つラッチ偏向領域と を備えるラッチ・アーマチュア構造と 前記ラッチ偏向領域の前記第2領域の1つの下側面の一部分上に位置して前記第1ラッチ信号ラインに電気的に接続される第1ラッチ電極と、 概して前記第1ラッチ電極の下の前記基板上に形成されて前記第2ラッチ信号ラインに電気的に接続される第2ラッチ電極と、 1つのラッチ電極絶縁体であって、前記第1電極絶縁体が、前記偏向領域の前記第2領域が前記被ラッチ位置にあるときに前記第1ラッチ電極と前記第2ラッチ電極との電気的接触を妨げる電極絶縁体と、 前記第1駆動信号ラインに電気的に接続された1つの第1駆動電極と前記第2駆動信号ラインに電気的に接続された1つの第2駆動電極とを含む、前記ラッチ偏向領域に前記刺激を加えるための1つの手段と、 1つの負荷アーマチュア構造と を備え、前記負荷アーマチュア構造が、 前記ベースに取り付けられた1つのアンカー領域と 前記負荷アーマチュア構造を前記ラッチ・アーマチュア構造に結合させる1つの結合領域と 前記アンカー領域に取り付けられた1つの第1領域と、1つの開成位置と1つの閉成位置との間を移動し得る1つの第2領域とを含む1つの接点偏向領域であって、前記閉成位置が、前記ラッチ偏向領域の前記第2領域が前記被ラッチ位置にあるときに確立される接点偏向領域と 前記接点偏向領域の前記第2領域の1つの下側面の一部分上に形成された1つの第1接点電極であって、前記第1負荷信号ラインに電気的に接続される第1接点電極と、 1つの第2接点電極であって、前記第2負荷信号ラインに電気的に接続されて前記して前記第1接点電極の下の前記基板上に位置し、前記第1接点電極と前記第2接点電極とは、前記接点偏向領域が前記閉成位置にあるときに1つの接触力を持って電気的に接触させられ、前記接点偏向領域は前記ラッチ変更領域と関連して動く、第2接点電極と を備える、リレー。

IPC (2件)：

H01H59/00 ,  B81B3/00

FI (2件)：

H01H59/00 ,  B81B3/00

引用特許：

出願人引用 (19件)

• 米国特許第6046659号明細書
  
• 米国特許第4620123号明細書
  
• 米国特許第4819126号明細書
  
• 米国特許第4916349号明細書
  
• 米国特許第4403166号明細書
  
• 米国特許第5467068号明細書
  
• 米国特許第5463233号明細書
  
• 米国特許第5796152号明細書
  
• 米国特許第5796152号明細書
  
• 米国特許第5629565号明細書
  
• 米国特許第5673785号明細書
  
• 米国特許第5578976号明細書
  
• 米国特許第5258591号明細書
  
• 米国特許第5479042号明細書
  
• 米国特許第5638946号明細書
  
• 米国特許第6054659号明細書
  
• 米国特許第6057520号明細書
  
• 米国特許第5544001号明細書
  
• 米国特許第5278368号明細書