特許

J-GLOBAL ID：200903003889820394

温度制御装置

発明者： 門谷 ▲かん▼一
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-120937
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312943
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】熱交換効率のよい温度制御によってウェハなどの被温度制御対象物を速やかに所望の温度に制御する。【解決手段】温度制御対象物を支持する支持プレート2,3と、この支持プレート2,3の下部にその上部壁面5が当接するように設けられた温度制御室4と、この温度制御室4の上部内壁面に対して流体を噴出する複数の流体噴出孔6と、これら流体噴出孔6に対し所定の温度に調整された流体を供給する流体供給手段9,10,11と、前記複数の流体噴出孔6から噴出された流体を前記温度制御室から排出する流体排出手段13,14と、 前記温度制御室4の上部内壁面5を光エネルギーを用いて加熱する光加熱方式のヒータ手段20とを備えるようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

温度制御対象物を支持する支持プレートと、この支持プレートの下部にその上部壁面が当接するように設けられた温度制御室と、この温度制御室の上部内壁面に対して流体を噴出する複数の流体噴出孔と、これら流体噴出孔に対し所定の温度に調整された流体を供給する流体供給手段と、前記複数の流体噴出孔から噴出された流体を前記温度制御室から排出する流体排出手段と、前記温度制御室の上部内壁面を光エネルギーを用いて加熱する光加熱方式のヒータ手段と、を備えるようにしたことを特徴とする温度制御装置。