特許
J-GLOBAL ID：200903003895972430
シート状被洗浄物の洗浄方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤吉 繁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-142950
公開番号（公開出願番号）：特開平10-314685
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 複雑な形状の被洗浄物の洗浄。【解決手段】 被洗浄物を水平移動する搬送装置に、被洗浄物を垂直方向に取付けるローデング工程と、被洗浄物を水平移動させながら温・熱風により予備加熱を行って汚染物を軟化させる予備加熱工程と、シャワー噴射ノズルから洗浄液を水平移動する被洗浄物に噴射し、反対側から洗浄液を噴出して被洗浄物の姿勢の崩れを防止して洗浄を行う第1シャワー洗浄工程と、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、その浸漬中に多数の洗浄液噴射ノズルから洗浄液を噴射させて洗浄を促進させ、反対側の多数のバックアップ噴出口から洗浄液を噴出して被洗浄物の移動姿勢の崩れを防止し、更に超音波振動にて洗浄を行う洗浄工程と、シャワー噴射ノズルと対向するバックアップ噴射口から洗浄液を噴出する第2シャワー洗浄工程と、送風液切り工程、シャワーリンス工程、温・熱風乾燥工程とからなるシート状被洗浄物の洗浄方法。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を水平移動する搬送装置に被洗浄物を垂直方向に取付けるローデング工程と、被洗浄物を水平移動させながら、温・熱風により予備加熱を行って汚染物を軟化させる予備加熱工程と、シャワー噴射ノズルから洗浄液を水平移動する被洗浄物に噴射すると共に、反射側からも洗浄液を噴出して被洗浄物の姿勢の崩れを防止しつつ洗浄を行う第1シャワー洗浄工程と、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させてその浸漬中に多数の洗浄液噴射ノズルから洗浄液を噴射して洗浄を促進せしめ、反射側の多数のバックアップ噴出口からも洗浄液を噴出して被洗浄物の移動姿勢の崩れを防止しつつ更に超音波振動を印加して洗浄を行う洗浄工程と、シャワー噴射ノズルと対向するバックアップ噴射口とから洗浄液を噴出する第2シャワー洗浄工程と、送風により液切りを行う液切り工程と、リンス水で被洗浄物のリンスを行う第1シャワーリンス工程と、前記洗浄工程と同様手段にてリンス水でリンスを行うリンス工程と、第1シャワーリンス工程と同様手段の第2シャワーリンス工程と、液切り工程と、第1シャワーリンス工程と同様なシャワーリンス工程と、液切り工程と、温・熱風にて被洗浄物を乾燥させる乾燥工程とからなるシート状被洗浄物の洗浄方法。
IPC (2件)：
B08B 3/02
, H01L 21/304 351
B08B 3/02 C
, B08B 3/02 F
, H01L 21/304 351 C
