特許

J-GLOBAL ID：200903003902497603

非平坦基板上でのインクジェット印刷のための方法及び装置。

発明者： エマニュエル ビアー ,  チャング ツング リン ,  栗田 真一 ,  クワンユアン シャング ,  ベンジャミン ジョンストン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 安齋 嘉章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-262036
公開番号（公開出願番号）：特開2007-144397
出願日： 2006年09月27日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】インクジェット印刷装置のためのセンサ装置を提供する。【解決手段】センサ装置は、1) 基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも1つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、2)基板の上表面からの距離を検出するために用いられる少なくとも1つのセンサと、3)センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて基板に堆積されるインクの軌跡を調節するコントローラを備えている。他の多くの形態が提供される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも1つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、 基板の上表面からの距離を検出するために用いられる少なくとも1つのセンサと、 センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて印刷パラメータを調節するコントローラを備えた装置。

IPC (4件)：

B05C 5/00 ,  B05C 11/00 ,  B05D 3/00 ,  B05D 1/26

FI (4件)：

B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00 D ,  B05D1/26 Z

Fターム (19件)：

4D075AC07 ,  4D075AC73 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075DA06 ,  4D075DC27 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA03 ,  4F042BA04 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12