特許
J-GLOBAL ID：200903003903736458
エリアビーム型電子線照射装置の照射窓
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-346941
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166700
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 窓箔の局部的劣化を防止し、電子取り出し効率の向上を図ること。【解決手段】 エリアビーム型電子線照射装置の照射窓は、水冷のグリッドウインドウ1とその照射領域側に取り付けられた窓箔を有し、厚み幅と照射幅長さをもつ断面矩形状の電子ビームを照射領域に取り出す。グリッドウインドウ1における電子ビームに応じた幅Wと長さLをもつ矩形状の電子ビーム取り出し領域には多数の電子取り出し孔1a,1a’が形成されており、窓箔はグリッドウインドウに接触し冷却される。電子取り出し孔の孔径は電子ビーム取り出し領域の幅方向で変化させてあり、電子ビーム密度が大きい幅方向中央部の電子取り出し孔1aの孔径より、同密度が小さい幅方向両端部側の取り出し孔1a’の孔径は大きい。多数の電子取り出し孔内の窓箔部分に生ずる温度差が同じになるようにし、幅方向両端部側の斜め入射ビームに対する有効開口率が増加する。
請求項（抜粋）：
厚み幅と照射幅長さをもつ断面矩形状の電子ビームを取り出すエリアビーム型電子線照射装置の照射窓において、前記電子ビームに応じた幅と長さをもつ矩形状の電子ビーム取り出し領域に多数の電子取り出し孔が形成されていて、窓箔が接触する水冷のグリッドウインドウを備え、このグリッドウインドウの電子取り出し孔の孔径を電子ビーム取り出し領域の幅方向において変化させてあることを特徴とするエリアビーム型電子線照射装置の照射窓。
IPC (4件)：
G21K 5/04
, G21K 5/00
, H01J 37/305
, H01J 37/06
G21K 5/04 E
, G21K 5/00 D
, H01J 37/305 Z
, H01J 37/06 Z
