特許

J-GLOBAL ID：200903003905510392

質量流量計

発明者： 西村 誠
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-148131
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005012
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は塗装用ロボットのアーム等の可動部の回転運動によるノイズをキャンセルできるよう構成した質量流量計を提供することを目的とする。【構成】 質量流量計10は塗装用ロボット1の第2アーム5の設置される。質量流量計10は、センサチューブ35の流入側にピックアップ37aと38aとを有し、センサチューブ35の流出側にピックアップ37bと38bとを有し、流入側のピックアップ37aの出力信号Saからピックアップ38aの出力信号Scを減算した減算信号Sa-Scと、流出側のピックアップ37bの出力信号Sbからピックアップ38bの出力信号Sdを減算した減算信号Sb-Sdとの位相差を求めることにより流量を算出する。

請求項（抜粋）：

流入路又は流出路に連通し平行に延在する一対の直管部と、該直管部の先端よりU字状に曲げられた曲部と、該一対の曲部の端部を接続する接続部とを有し、流入側の直管部から流入された被測流体が該曲部及び接続部を通過して流出側の直管部より流出するように形成されたセンサチューブと、該センサチューブの一対の直管部を近接又は離間方向に振動させる加振器と、該加振器により加振されたセンサチューブ内を流れる被測流体の流量に応じて発生するコリオリ力による前記一対の直管部の夫々の変位を検出する第1,第2のピックアップと、前記センサチューブの一対の曲部の夫々の変位を検出する第3,第4のピックアップと、流入側の前記第1のピックアップの出力信号から流入側の前記第3のピックアップの出力信号を減算するように接続し、且つ流出側の前記第2のピックアップの出力信号から流出側の前記第4のピックアップの出力信号を減算するように接続し、前記第1,第2のピックアップの出力信号に発生したノイズを除去するノイズ除去手段と、よりなることを特徴とする質量流量計。