特許

J-GLOBAL ID：200903003905778930

基板保持装置

発明者： 安東 靖典 ,  糠山 正明
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174795
公開番号（公開出願番号）：特開平7-090582
出願日： 1993年06月22日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】 基板と基板台との間の熱伝達手段を改善して、基板が大型化しても均一かつ大きな冷却能力を得ることができ、しかも取り扱いが簡単であり、更に故障発生時の真空装置への影響の少ない基板保持装置を提供する。【構成】 この基板保持装置は、基板2を支持するためのものであって冷媒16によって冷却される基板台14と、基板2の周縁部をこの基板台14に向けて押さえ付ける基板押さえ18と、基板台14上に当該基板台14と基板2との間に挟まれるように設けられていて、フレキシブルな袋22内にシリコーングリースを主成分とする真空用グリース24を封入して成る冷却パッド20とを備えている。

請求項（抜粋）：

基板を支持するためのものであって冷媒によって冷却される基板台と、基板の縁をこの基板台に向けて押さえ付ける基板押さえと、前記基板台上に当該基板台と基板との間に挟まれるように設けられていて、フレキシブルな袋内にシリコーングリースを主成分とする真空用グリースを封入して成る冷却パッドとを備えることを特徴とする基板保持装置。

IPC (6件)：

C23C 14/50 ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/265 ,  H01L 21/302 B