特許
J-GLOBAL ID：200903003907371730
レチクルの欠陥検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048982
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246951
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 ワン・チップ毎のステップ&リピート露光方式のレチクルの欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 本欠陥検査方法は、無欠陥の使用前の所定レチクルのレチクルパターンの画像を予め基準パターン画像18として画像記録媒体に記憶するステップと、使用後の所定レチクルのレチクルパターンを検査するために、所定レチクルの現レチクルパターンを撮像して検査パターン画像22を得るステップと、及び検査パターン画像と基準パターン画像とを対比してレチクル欠陥を検出するステップとを有する。本方法は、ワン・チップ毎のステップ&リピート露光方式のレチクルの欠陥検査に最適である。
請求項（抜粋）：
使用前の無欠陥所定レチクルのレチクルパターン画像を予め基準パターン画像として画像記録媒体に記憶するステップと、使用後の所定レチクルのレチクルパターンを検査するために、所定レチクルの現レチクルパターンを撮像して検査パターン画像を得るステップと、検査パターン画像と基準パターン画像とを対比してレチクル欠陥を検出するステップとを有することを特徴とするレチクルの欠陥検査方法。
IPC (5件)：
G03F 1/08
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/027
G03F 1/08 S
, G01B 11/24 F
, G01N 21/88 E
, G06F 15/62 405 A
, H01L 21/30 502 V
