特許

J-GLOBAL ID：200903003914838740

制御曲げを用いた直接動作式縦型熱アクチュエータ

発明者： ウィーバー,ビリー エル. ,  ゴーツ,ダグラス ピー. ,  ヘイゲン,キャシー エル. ,  ハマリー,マイケル イー. ,  スミス,ロバート ジー. ,  サイス,シルバ ケー.
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (4件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-526694
公開番号（公開出願番号）：特表2004-508953
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

基板の表面から離れてマイクロメートルサイズの光学装置の反復可能で迅速な移動を行うことができる制御曲げを用いたマイクロメートルサイズの1段階縦型熱アクチュエータに関する。前記縦型熱アクチュエータは、基板の表面上に構成されている。少なくとも1つの高温アームは、前記表面に固定された第1端と前記表面の上に配置された自由端とを有する。低温アームは、前記表面に固定された第1端と自由端とを有する。前記低温アームは、前記表面に対して前記高温アームの上に配置されている。前記低温アームは、前記低温アームの前記第1端の近くで制御曲げを与えるように構成されている。部材は、電流を少なくとも前記高温アームに加えた場合に前記部材が前記基板から遠ざかるように前記アクチュエータが大体撓み部で曲がるように前記高温および低温アームの前記自由端を機械的および電気的に結合する。

請求項（抜粋）：

基板の表面に設けられる縦型熱アクチュエータであって、 前記表面に固定された第1端と前記表面の上に配置された自由端とを有する少なくとも1つの高温アームと、 前記表面に固定された第1端と自由端とを有する低温アームであって、前記表面に対して前記高温アームの上に配置された低温アームと、 前記低温アームの前記第1端の近くで前記低温アームに形成され、制御曲げを与えるようになっている撓み部と、 前記高温および低温アームの前記自由端を機械的および電気的に結合する部材であって、少なくとも前記高温アームに電流を加えたときに縦型熱アクチュエータが略前記撓み部で曲がって該部材を基板から離れる方向へ移動させる部材と、を具備する、縦型熱アクチュエータ。

IPC (3件)：

B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H02N10/00

FI (3件)：

B81B3/00 ,  G02B26/08 E ,  H02N10/00

Fターム (7件)：

2H041AA14 ,  2H041AA15 ,  2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AC07 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08