特許
J-GLOBAL ID：200903003915535849
圧電振動子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098743
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291387
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 接着を用いず、また裁断工程を必要とすることなく、小型にして高性能な圧電振動子を歩留まり良く製造する。【構成】 セラミックスにより形成された薄板状の弾性体10を加熱し、その上面に噴射ノズル11から白金の超微粒子からなる中間電極用超微粒子12を噴射堆積して下部電極13を形成する。続いて、中間電極13上に噴射ノズル14からPZT超微粒子からなる圧電体用超微粒子15を噴射堆積し、薄膜の圧電体16を形成する。次に、これを500〜1000°Cで酸素雰囲気中にて熱処理する。その後、噴射ノズル17から白金超微粒子からなる表面電極用超微粒子18を噴射堆積して表面電極19を形成する。これにより、弾性体10に圧電素子20を積層した圧電振動子21が得る。
請求項（抜粋）：
薄層状の圧電素子と薄層状の弾性体とを積層してなる圧電振動子において、少なくとも1つの層を超微粒子を噴射堆積することにより形成したことを特徴とする圧電振動子。
IPC (3件)：
H01L 41/24
, H01L 41/09
, H04R 17/00 330
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 C
