特許

J-GLOBAL ID：200903003918277379

半導体装置及びその製造方法

発明者： 松本 拓治 ,  前田 茂伸 ,  岩松 俊明 ,  一法師 隆史
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035180
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246600
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】 部分分離領域によって素子分離された素子形成領域におけるボディ領域の電位を安定性の良く固定できるSOI構造の半導体装置を得る。【解決手段】 部分酸化膜31によって素子分離された素子形成領域に、ソース領域51、ドレイン領域61及びHゲート電極71からなるMOSトランジスタを形成する。Hゲート電極71は左右(図中は上下)の“I”によって、ソース領域51及びドレイン領域61にゲート幅W方向に隣接して形成されるボディー領域13とドレイン領域61及びソース領域51とを電気的に分離し、中央の“-”が本来のMOSトランジスタのゲート電極として機能する。

請求項（抜粋）：

半導体基板、埋め込み絶縁層及びSOI層からなるSOI構造の半導体装置であって、前記SOI層の素子形成領域に設けられるMOSトランジスタと、前記SOI層に設けられ、前記素子形成領域を素子分離する部分分離領域とを備え、前記部分分離領域は前記SOI層の上層部に設けられる部分絶縁膜と下層部に存在する前記SOI層の一部である部分絶縁膜下半導体領域とを含み、前記MOSトランジスタは、各々が前記SOI層内に選択的に形成される第1の導電型のソース及びドレイン領域と、前記ソース及びドレイン領域間の前記SOI層の領域上にゲート酸化膜を介して形成されるゲート電極主要部を有するゲート電極と、前記ソース及びドレイン領域間の前記SOI層の第2の導電型の領域であるボディ領域主要部と、前記素子形成領域内に前記ボディ領域主要部から電気的に接続して形成され、外部から電位固定可能なボディ領域電位設定部とを含むボディ領域とを備える、半導体装置。

IPC (9件)：

H01L 29/786 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 21/8244 ,  H01L 27/11 ,  H01L 21/336

FI (11件)：

H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 626 B ,  H01L 27/04 R ,  H01L 27/08 321 C ,  H01L 27/08 321 D ,  H01L 27/10 381 ,  H01L 29/78 613 B ,  H01L 29/78 616 L ,  H01L 29/78 617 K ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 29/78 621

Fターム (91件)：

5F038AR03 ,  5F038AR27 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ20 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AB04 ,  5F048AB06 ,  5F048AB07 ,  5F048AC04 ,  5F048AC10 ,  5F048BA16 ,  5F048BB01 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BC02 ,  5F048BC03 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BE09 ,  5F048BF02 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF17 ,  5F048BF18 ,  5F048BG05 ,  5F048BG12 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F083BS03 ,  5F083BS05 ,  5F083BS15 ,  5F083BS17 ,  5F083BS27 ,  5F083BS29 ,  5F083BS30 ,  5F083BS37 ,  5F083HA02 ,  5F083JA35 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA53 ,  5F083KA20 ,  5F083LA21 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083PR40 ,  5F110AA08 ,  5F110AA15 ,  5F110BB04 ,  5F110BB07 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE14 ,  5F110EE24 ,  5F110EE32 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF04 ,  5F110FF23 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG60 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ23 ,  5F110HJ30 ,  5F110HK05 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL08 ,  5F110HL11 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM12 ,  5F110HM15 ,  5F110HM17 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110NN78