特許
J-GLOBAL ID：200903003921201405
乾燥処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223932
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077203
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 蒸気処理部内の蒸気が乾燥処理部内に侵入したり外部に漏洩することを防止することができ、乾燥処理時間を短縮してスループットの向上を図ることができるとともに、安全性の向上を図ることのできる乾燥処理装置を提供する。【構成】 乾燥処理部29の下部に位置するケース20の側壁部両側には、スリット状の排気口30が配設されており、この排気口30にはそれぞれ排気配管31が接続されている。また、シャッター28にはガス供給口32が設けられており、このガス供給口32の上部には、ガス供給配管33および塵埃除去フィルタ34が配設されている。そして、ガス供給配管33から供給されるガス、例えば窒素ガスを、塵埃除去フィルタ34で清浄化し、ガス供給口32から乾燥処理部29内に供給するよう構成されている。
請求項（抜粋）：
被乾燥物を収容可能に構成され、処理液槽内に収容された乾燥処理液を加熱して発生させた蒸気雰囲気とされる蒸気処理部と、前記蒸気処理部の上方に配設され、前記蒸気を冷却して凝縮させるための冷却機構と、前記冷却機構の上部に配設され、前記被乾燥物を収容して該被乾燥物に付着した前記乾燥処理液を乾燥させるための乾燥処理部と、前記乾燥処理部内に、上部から下部に流れる乾燥用気体流を形成する気体供給機構および排気機構とを具備したことを特徴とする乾燥処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, H01L 21/304
