特許
J-GLOBAL ID：200903003927092675
半導体製造装置の制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船津 暢宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275151
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125568
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 従来はSEMIのE-10に示された指標を計算するために必要なデータを計測値としてディスプレイ等に出力し、指標はユーザが手計算によって求めていたが、本発明では、計測値をもとにして自動的に計算を行うことができる半導体製造装置の制御装置を提供する。【解決手段】 半導体製造装置3から装置制御部2を介して受信した装置の状態を制御装置1の装置データ収集部11が監視し、各状態に滞在した時間を計測し、故障発生又は装置ダウン発生を受信すると、それらの回数をカウントして装置データ・入力データ格納メモリ19に格納し、画面制御部14がSEMIのE-10に示された指標を計算し、画面表示・入力部15がスクリーン4に指標を表示する半導体製造装置の制御装置である。
請求項（抜粋）：
日時を計時するタイマ管理部と、半導体製造装置から送信される装置の情報を、装置が半導体を生産していることを示す「生産時間」か、生産をしていない「非計画時間」か、装置が故障中又は停止中であることを示す「ダウンタイム」かに分別し、1日ごとに装置がそれぞれの状態にある時間を前記タイマ管理部から入力される日時を利用して計時し、故障が起きた回数と装置がダウンした回数とをカウントする装置データ収集部と、前記計時された時間と、カウントされた回数とを格納する装置データ・入力データ格納メモリと、前記装置データ・入力データ格納メモリに格納されている情報を用いて、半導体製造装置及び材料に関する国際規格の装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドラインに掲げられた各数値を計算によって求める画面制御部と、前記計算された各数値をスクリーンに表示する画面表示・入力部を有することを特徴とする半導体製造装置の制御装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, G05B 23/02 301
, G05B 23/02
, H01L 21/66
H01L 21/02 Z
, G05B 23/02 301 U
, G05B 23/02 301 X
, H01L 21/66 Z
