投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-144633
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135132
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】スリットスキャン露光方式の投影露光装置において、ウエハ上に塗布された感光材の感度が変化した場合に、ステージの走査速度を上限値以下に抑えて、且つウエハに対する露光量制御精度を高精度に維持する。【構成】水銀ランプ31からの照明光が、フライアイレンズ36、リレーレンズ37A、可動レチクル遮光板38,39、固定レチクルブラインド42,43、リレーレンズ37B及びコンデンサーレンズ45を経てレチクル1上のスリット状の照明領域46を照明する。照明領域46内のパターンが投影光学系9を介してウエハ10上に露光される。ウエハ10上のフォトレジストの感度に応じて、固定レチクルブラインド42,43を介して照明領域46の走査方向の幅を変化させる。

請求項（抜粋）：

照明光でマスク上の照明領域を照明する照明光学系と、前記照明領域内の前記マスクのパターンの像を感光材が塗布された基板上に投影する投影光学系と、前記照明領域に対して前記マスクを所定方向に走査するマスク側ステージと、前記マスクの走査と同期して前記照明領域と共役な露光領域に対して前記基板を所定方向に走査する基板側ステージとを有し、前記マスクのパターンの像を逐次前記基板上に露光する走査型の投影露光装置において、前記基板に塗布された前記感光材の感度を入力する感度入力手段と、前記照明光による前記マスク上の照明領域を所定形状に設定すると共に、該所定形状の照明領域の走査方向の幅を所定範囲で任意の幅に設定する可変視野絞りと、前記照明光の露光エネルギーを検出する光量検出手段と、前記感度入力手段により入力された前記感光材の感度、前記光量検出手段により検出された前記照明光の露光エネルギー、及び予め定められている上限値以下の前記マスク側ステージによる前記マスクの走査速度より、前記マスク上の照明領域の走査方向の幅を求める演算手段と、該演算手段により求められた前記照明領域の幅を前記可変視野絞りを介して設定する制御手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521 , G03F 7/22

FI (2件)：

H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 514 D

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平4-196513
特開平4-142020
特開昭61-280619

全件表示

審査官引用 (3件)

特開平4-196513
特開平4-142020
特開昭61-280619

前のページに戻る