特許

J-GLOBAL ID：200903003932826911

圧電型振動センサ

発明者： 國村 智 ,  中山 四郎 ,  高橋 克彦 ,  今井 隆之
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339101
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172839
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【構成】 被測定物に剛に取り付けられる台座1と、この台座1の感知軸Gに垂直な測定面に固着された感知部2と、この感知部2上に固着され慣性質量部として作用する剛体からなる荷重体3を有し、前記感知部2は、圧電フィルム6の両面に電極7、7を設けた膜状圧電体4と、この膜状圧電体4の表裏両面に固着された板状の剛体からなる2枚の支持板5、5とからなる圧電型振動センサにおいて、上記電極7、7の形状をメッシュ状とする。【効果】 圧電フィルムの両面に設けられた電極がメッシュ状なので、このメッシュの度合を変えることにより、出力電圧を制御することができる。この出力調整は、感知部部材をチップ状に切断する前に行なうので、一度に多数の同じ出力に調整された圧電型振動センサを容易に得ることができ、そのばらつきは少ない。また荷重体の大きさや質量は変わらないので、耐衝撃性の低下が起こらない。

請求項（抜粋）：

被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座の感知軸に垂直な測定面に固着された感知部と、この感知部上に固着され慣性質量部として作用する剛体からなる荷重体を有し、前記感知部は、圧電フィルムの両面に電極を設けた膜状圧電体と、この膜状圧電体の表裏両面に固着された板状の剛体からなる2枚の支持板とからなる圧電型振動センサにおいて、上記電極がメッシュ状であることを特徴とする圧電型振動センサ。