熱型赤外線イメージセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-145263
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324390
出願日： 2000年05月17日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】高速で、かつ自己発熱の影響を無くして測定することができる熱型赤外線イメージセンサを提供する。【解決手段】ボロメータ型赤外線センサ素子2aを多数並設したセンサアレイに対し被温度測定物からの赤外線を照射して、赤外線の熱をセンサ素子2aで吸収し、この熱による各センサ素子2aの抵抗値変化を当該センサ素子2aへの通電を行いながら読み取り、各センサ素子2a毎の熱画像データが得られる。赤外線検出部(センサ素子2a)は、大気または乾燥窒素ガスで充填されたパッケージ内に封止され、高熱伝導性雰囲気中に配置されている。同一のセンサ素子2aの抵抗値変化の読み取り間隔が、当該センサ素子2aの熱時定数よりも大きくなっている。

請求項（抜粋）：

熱型赤外線センサ素子(2a)を多数並設したセンサアレイ(2)に対し被温度測定物からの赤外線を照射して、赤外線の熱を前記熱型赤外線センサ素子(2a)で吸収し、この熱による各熱型赤外線センサ素子(2a)の抵抗値変化を当該センサ素子(2a)への通電を行いながら読み取り、各熱型赤外線センサ素子(2a)毎の熱画像データを得るようにした熱型赤外線イメージセンサにおいて、前記熱型赤外線センサ素子(2a)を高熱伝導性雰囲気中に配置するとともに、同一の熱型赤外線センサ素子(2a)の抵抗値変化の読み取り間隔(Δt)を、当該センサ素子(2a)の熱時定数よりも大きくしたことを特徴とする熱型赤外線イメージセンサ。

IPC (9件)：

G01J 5/22 , G01J 1/02 , G01J 1/42 , G01J 1/44 , G01J 5/02 , G01J 5/48 , H01L 27/14 , H01L 37/02 , H04N 5/33

FI (10件)：

G01J 5/22 , G01J 1/02 C , G01J 1/02 Q , G01J 1/42 B , G01J 1/44 P , G01J 5/02 C , G01J 5/48 D , H01L 37/02 , H04N 5/33 , H01L 27/14 K

Fターム (44件)：

2G065AB02 , 2G065BA11 , 2G065BA12 , 2G065BA13 , 2G065BA34 , 2G065BA36 , 2G065BA38 , 2G065BC03 , 2G065BC05 , 2G065BC07 , 2G065BC17 , 2G065BC19 , 2G065BC22 , 2G065BC28 , 2G065BC31 , 2G065BC33 , 2G065CA13 , 2G066AC13 , 2G066BA09 , 2G066BB09 , 2G066BC02 , 2G066BC07 , 2G066CA02 , 4M118AA10 , 4M118CA16 , 4M118CA40 , 4M118CB20 , 4M118GA10 , 4M118GD03 , 4M118GD07 , 4M118GD09 , 4M118HA02 , 5C024AX06 , 5C024BX04 , 5C024CX31 , 5C024EX15 , 5C024GY31 , 5C024HX21 , 5C024HX23 , 5C024HX32 , 5C024HX52 , 5C024HX53 , 5C024JX06 , 5C024JX45

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