特許

J-GLOBAL ID：200903003939607697

螢光X線検査装置

発明者： ロビン ジョン アンダーソン ,  トレヴァー アントニー ナン
出願人/特許権者： オックスフォード アナリティカル インストルメンツ リミテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-175004
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063713
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 X線の発生源としてX線管を用いることができる螢光X線検査装置を提供する。【構成】 試料位置に向かって指向されるエネルギーの範囲を有するX線を発生するX線管と、X線管及び試料位置の間に取り付けられ、試料位置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第1のフィルタアセンブリと、試料位置からのX線を監視するX線監視装置と、試料位置及び監視装置の間に取り付けられ、監視装置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第2のフィルタアセンブリとを備える。

請求項（抜粋）：

試料位置に向かって指向されるエネルギーの範囲を有するX線を発生するX線管と、前記X線管及び前記試料位置の間に取り付けられ、該試料位置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第1のフィルタアセンブリと、前記試料位置からのX線を監視するX線監視装置と、前記試料位置及び前記監視装置の間に取り付けられ、該監視装置に到達するX線のエネルギー帯域を二つの異なる方法で制御できるべく少なくとも二つの位置の間で移動可能な第2のフィルタアセンブリとを備えることを特徴とする螢光X線検査装置。