特許

J-GLOBAL ID：200903003943049305

電界放出冷陰極とこれを用いたマイクロ波管

発明者： 巻島 秀男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323580
公開番号（公開出願番号）：特開平7-182968
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】高電流モードと低電流モードで、電流比が大きく、電子ビーム径の変化が小さく、両モードでリップルが小さい電子ビームを形成する。さらに、この電子ビームを利用して両モードで最適に近いRF動作を行い、信頼性が高く、構造が簡単で、小形のマイクロ波管を実現する。【構成】電界放出冷陰極の、ゲート電極あるいはエミッタが形成されたエミッタ電極を複数に分割し、この電極に印加する電圧を変えることにより電子が放出される面積を切り替えて、高電流と低電流の2種類の電流モードに切り替えることを可能とする。また、3分割あるいはこれ以上に分割されたゲート電極あるいはエミッタ電極の各部分の接続を変えられる様にして高電流モードと低電流モードの電流比の設定を可能とする。

請求項（抜粋）：

基板上の第1電極と、前記第1電極の上に形成し、先端を尖鋭化した電子放出電極と、前記電子放出電極とその周辺を除いて前記基板上に前記第1電極を挟んで形成した絶縁層と、前記絶縁層の上に積層し、前記電子放出電極を取り囲む開口を持つ第2電極で構成され、前記第1電極を2あるいは2以上に分割したことを特徴とする電界放出冷陰極。

IPC (2件)：

H01J 1/30 ,  H01J 23/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭50-016379
  
• 特開昭50-105252