特許

J-GLOBAL ID：200903003948922503

セラミックス基板およびその製造方法

発明者： 山出 善章 ,  守屋 要一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175517
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033515
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：

【要約】【構成】 ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、ガラスはMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)であって、結晶は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶を含有し、2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 の骨材表面、又は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 及びAl2 O3 の骨材表面から2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶が析出しているセラミックス基板。【効果】 ガラスの軟化温度が720°C以下になり、850〜1000°Cの焼成温度でも気孔率が減少してち密化し、熱膨張係数がシリコンに近く、比誘電率が小さく、耐湿性、耐水性等にも優れたセラミック基板を提供することができる。

請求項（抜粋）：

ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、前記ガラスはMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)であって、前記結晶は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 結晶を含有し、2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 の骨材表面、又は2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 及びAl2 O3 の骨材表面から2MgO・2Al2 O3・5SiO2 結晶が析出していることを特徴とするセラミックス基板。

IPC (3件)：

C04B 35/18 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/46

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-079739
  
• 特開平1-132194
  
• 特開昭63-151645