特許

J-GLOBAL ID：200903003952408865

真空チヤンバ用産業ロボツト装置

発明者： 山本 裕敏 ,  加藤 隆司 ,  中村 勝彦
出願人/特許権者： 新明和工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-163122
公開番号（公開出願番号）：特開平5-008193
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】産業用ロボットの内外の圧力差を所定状態に制御することにより、常圧下で用いられる気密シールのように耐圧性の低い小形シールの適用を可能とし、真空チャンバ内で作業を行う産業用ロボットの小形化を実現する。【構成】真空チャンバC内に設置された産業用ロボットRは複数の軸系を有し、該各軸系は互いに通気自在に連通され、各回転軸に装着した気密シールで封止されている。上記産業用ロボットRには、冷却気体を供給する送気装置31が接続されると共に、冷却気体を排気するロボット用真空装置32が制御バルブ34を介して接続され、上記真空チャンバCには、該真空チャンバC内の気体を排気するチャンバ用真空装置40が制御バルブ41を介して接続されている。更に、上記産業用ロボットRの内部圧力と真空チャンバC内の圧力との差圧を予め設定された所定差圧に保持するように上記両制御バルブ34,41を制御するバルブ制御手段Mが設けられている。

請求項（抜粋）：

真空チャンバ内に設置されて作業を行う産業用ロボットを備えた真空チャンバ用産業ロボット装置であって、上記産業用ロボットは複数の軸系を有し、各軸系が回転軸を介して接続された多関節ロボットで構成され、上記各軸系は互いに通気自在に連通され、各回転軸に装着した気密シールで封止されており、上記産業用ロボットには、冷却気体を供給する送気装置が接続されると共に、冷却気体を排気するロボット用真空装置が制御バルブを介して接続され、上記真空チャンバには、該真空チャンバ内の気体を排気するチャンバ用真空装置が制御バルブを介して接続される一方、上記産業用ロボットの内部圧力と、真空チャンバ内の圧力との差圧を予め設定された所定差圧に保持するように少なくとも上記ロボット用真空装置側の制御バルブの開度を制御するバルブ制御手段が設けられていることを特徴とする真空チャンバ用産業ロボット装置。

IPC (3件)：

B25J 19/00 ,  B25J 13/08 ,  B25J 21/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-162187
  
• 特開昭61-125791