X線分析装置およびこれを使用した測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：川野宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080822
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275197
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【目的】電子線照射により被検体から発生された特性X線を検出して被検体に含まれる元素の定量分析を行う場合において、被検体測定中における電子線の正確な照射電流値を求め、被検体含有元素の分析精度の大幅な向上を図る。【構成】電子線照射により発生する吸収電流値がその照射電流値と比例関係にあることに着目し、本測定前に、被検体5および標準試料8の吸収電流を測定し、それら測定値の比の値を求めておき、本測定時に測定された被検体5の吸収電流値に該比の値を乗算することにより上記照射電流値を算出し、この照射電流を実質的にモニタする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生する電子ビーム源と、該電子ビームを被検体上に収束せしめる電子ビーム収束手段と、該電子ビームの照射により前記被検体から発生された特性X線を検出するX線検出部を備えたX線分析装置において、前記被検体からの吸収電流を測定するとともに、この被検体と交換可能に配される標準試料からの吸収電流を測定する吸収電流測定部と、この測定部により測定された、前記被検体と前記標準試料における各吸収電流値の比の値Aを求める比例係数算出部と、前記被検体の本測定時に、測定して得られた該被検体の各吸収電流値に対し、前記比例係数算出部により求められた比の値Aを乗算して、各測定時における前記標準試料の吸収電流値を算出する標準試料吸収電流算出手段とを備えたことを特徴とするX線分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/225 , G21K 5/04 , H01J 37/252

FI (3件)：

G01N 23/225 , G21K 5/04 M , H01J 37/252 A

Fターム (19件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001FA02 , 2G001FA06 , 2G001FA10 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA11 , 2G001HA01 , 2G001HA20 , 2G001JA02 , 2G001KA01 , 2G001PA02 , 2G001PA05 , 2G001SA12 , 5C033PP02 , 5C033PP04 , 5C033PP05

前のページに戻る