特許
J-GLOBAL ID：200903003953965890
超微粒子の製造方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-361568
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093309
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 直径10μ以下の超微粒子のフィルタを用いた製造方法及び装置を提供する。【構成】 ガス気流中の超微粒子をフィルターを用いて捕集する製造方法において、フィルター表面に付着した超微粒子を圧化ガスにより払落す。フィルター前後の圧力差が一定値以上となったとき、差圧をゼロにしてから圧化ガスを噴射する。フィルターを複数個並列設置し、超微粒子の発生を中断させることなく連続運転する。
請求項（抜粋）：
生成された超微粒子をガス気流に乗せフィルターを用いて捕集する超微粒子の製造方法において、蓄圧されたガスをフィルター裏面から噴射させることにより、フィルター表面に積層した超微粒子を払い落とすことを特徴とする超微粒子の製造方法。
IPC (4件)：
B22F 9/12
, B01D 46/42
, B01J 19/00
, B01J 19/08
