特許
J-GLOBAL ID:200903003958915688

弾性表面波装置及びその周波数調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-095526
公開番号(公開出願番号):特開2000-295060
出願日: 1999年04月01日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 周波数調整中には周波数のモニタができず、しかも調整後の周波数にバラツキが多く生じていた。【解決手段】 圧電基板7上に、弾性表面波を発生させる励振電極2、半導電性又は絶縁性の保護膜12、及び保護膜12より熱伝導率が高い光不透過膜13を順次積層して成る弾性表面波装置S1とする。
請求項(抜粋):
圧電基板上に、弾性表面波を発生させる励振電極、半導電性又は絶縁性の保護膜、及び該保護膜より熱伝導率が高い光不透過膜を順次積層して成る弾性表面波装置。
IPC (2件):
H03H 9/145 ,  H03H 3/10
FI (2件):
H03H 9/145 C ,  H03H 3/10
Fターム (19件):
5J097AA13 ,  5J097AA31 ,  5J097AA32 ,  5J097BB11 ,  5J097CC02 ,  5J097DD13 ,  5J097DD29 ,  5J097EE09 ,  5J097FF05 ,  5J097GG03 ,  5J097GG05 ,  5J097HA03 ,  5J097HA04 ,  5J097HA08 ,  5J097HB04 ,  5J097HB08 ,  5J097JJ01 ,  5J097JJ09 ,  5J097KK09

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