特許
J-GLOBAL ID：200903003961162542
ガラス基板の内外周面の研削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大矢 須和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208574
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033889
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板の製造工程では生産性の面で基板メーカの要求にあっていなく、さらに高い量産化技術の構築と、それによるコストの低減が求められている。【解決手段】 ガラス基板5を支持固定する上部のバキュームクランプ装置A及び下部の抑止クランプ装置6並びに上部のプレッシャークランプ装置Bと、本体フレーム1の中心孔2内に沿って上下方向及び偏心方向に送り移動される、またはべべリング傾斜状態での上下方向及び放射方向に送り移動されるガラス基板5の内,外周面5a,5bの研削加工とべべリング加工を行うための高速砥石スピンドルを使用した内研用ダイヤモンドホイール7及び外研用ダイヤモンドホイール11とからなり、内研と外研の同時加工が行えるガラス基板の研削装置を提供することにある。【効果】 ガラス基板の内周面と外周面を同時研削加工方式とし、研削時間の短縮を図ることができる。また研削用工具の砥石周高速変化(回転振動を押さえる)により研削能率向上と砥石寿命を増大できる。
請求項（抜粋）：
被研削材料であるドーナツ型のガラス基板をその内周研削面及び外周研削面を限定する位置において本体フレームに水平状に支持固定する上部のバキュームクランプ装置及びプレッシャークランプ装置並びに下部の抑止クランプ装置と、本体フレームの垂直な中心孔内に沿って上下方向及び偏心方向に送り移動されるまたはべべリング傾斜状態での上下方向及び放射方向に送り移動されるガラス基板の内周面及び外周面の研削加工とべべリング加工を行うためのモーターを組み込んだ高速砥石スピンドルを使用した内研用ダイヤモンドホイール及び外研用ダイヤモンドホイールとからなり、内研と外研の同時加工が行えることを特徴とするガラス基板の内外周面の研削装置。
IPC (2件)：
B24B 9/00 601
, B24B 9/08
B24B 9/00 601 J
, B24B 9/08 C
