特許
J-GLOBAL ID：200903003961692932
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019333
公開番号（公開出願番号）：特開平6-207950
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 支持梁と各固定部との間に生じる静電容量信号を外部に容易に取り出すと共に、全体構造を小型化する。【構成】 高抵抗のシリコン材料からなる下側基板11の上側に低抵抗のシリコン材料からなる支持梁14と各固定部16とを一体形成すると共に、下側基板11の上側には支持梁14および各固定部16の下側に位置する接合層17,17,...と、一端側が各接合層17に接続され、他端側が各外部接続用電極20に接続されたリード部19,19,...とを設ける構成とした。これにより、加速度に応じて変化する支持梁14と各固定部16との間の静電容量信号は各接合層17および各リード部19を介して取り出される。
請求項（抜粋）：
高抵抗のシリコン材料から形成された基板と、該基板の一面側に設けられ、低抵抗のシリコン材料から加速度に応じて当該一面側と平行方向に変位する質量部を有して形成された支持梁と、該支持梁の両側に所定寸法離間して前記基板の一面側にそれぞれ設けられ、低抵抗のシリコン材料から形成された固定部と、前記基板に設けられ、該各固定部と前記支持梁との間に生じる静電容量信号を取り出す信号導出部とから構成してなる加速度センサ。
IPC (2件)：
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