特許
J-GLOBAL ID:200903003962457317
MOSFET
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
芝野 正雅
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-094973
公開番号(公開出願番号):特開2004-303948
出願日: 2003年03月31日
公開日(公表日): 2004年10月28日
要約:
【課題】実動作領域の周囲に設けられたガードリング上に電極が設けられていない部分では、ガードリング近傍で電荷の集中が起こりパターンが不均一になる。【解決手段】多数のMOSトランジスタのセル6を配列した実動作領域5と、実動作領域上に設けられ前記MOSトランジスタの各セルのソース領域18と接続されたソース電極7と、該ソース電極と接続したソースパッド電極と、前記MOSトランジスタの各セルのゲート電極16と接続したゲートパッド電極1と、ソース領域18の周囲に設けられたガードリング22とよりなり、前記ガードリングのゲート電極が覆われていない部分にソース電極を拡張して覆われるようする。【選択図】 図1
請求項1:
多数のMOSトランジスタのセルを配列した実動作領域と、
前記実動作領域上に設けられ前記MOSトランジスタの各セルのソース領域と接続されたソース電極と、
前記ソース電極と接続したソースパッド電極と、
実動作領域の周囲に設けられたガードリングと、
前記ガードリング上を部分的に覆うように設けられ、MOSトランジスタの各セルのゲート電極とゲートパッド電極とを接続するゲート連結電極よりなり、
前記ソース電極を拡張して前記ガードリング上のゲート電極が覆われていない部分を前記ソース電極で覆われるようにしたことを特徴とするMOSFET。
IPC (1件):
FI (4件):
H01L29/78 652M
, H01L29/78 652P
, H01L29/78 652Q
, H01L29/78 652S
引用特許:
出願人引用 (6件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-211625
出願人:株式会社デンソー
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電界効果トランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-330442
出願人:新電元工業株式会社
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特開平1-248564
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-176500
出願人:富士電機株式会社
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特開平3-180074
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高破壊耐量電界効果型トランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-177950
出願人:新電元工業株式会社
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審査官引用 (6件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-211625
出願人:株式会社デンソー
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電界効果トランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-330442
出願人:新電元工業株式会社
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特開平1-248564
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-176500
出願人:富士電機株式会社
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特開平3-180074
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高破壊耐量電界効果型トランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-177950
出願人:新電元工業株式会社
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