複数加工手段を備えた複合加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225991
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086369
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】加工所要時間を最短にするように、被加工物の搬送経路を搬送途中で選択できる複数加工手段を備えた複合加工装置を提供する。【構成】 2つ以上の同一加工手段を含む複数の異種加工手段1、2、3と、被加工物の中継部5と、搬送手段7と、被加工物の空席・在席・予約有無を管理する管理手段16と、加工終了点検出手段17と、加工順番と搬送動作と搬送動作実行条件とを記憶する記憶手段18と、搬送動作実行条件判別手段19と、判別手段19の判別に従って、被加工物を搬送する指令を発する制御手段15とを有する複数加工手段を備えた複合加工装置において、制御手段15が、被加工物の搬送先への予約は加工終了後に指示し、中継部5から2つ以上の同一加工手段への予約は2つ以上の同一加工手段の総てに行うように指示する。

請求項（抜粋）：

2つ以上の同一加工手段を含んで夫々異なる加工を行う複数の異種加工手段と、前記総ての加工手段との間で被加工物を交換する中継部と、前記被加工物を前記中継部と前記各加工手段間を往復搬送する搬送手段と、前記各加工手段と前記中継部との空席・在席・予約有無を判断し記憶する管理手段と、前記各加工手段の加工終了点を検出する加工終了点検出手段と、加工順番と加工順番に対応する搬送動作と搬送先の空席・在席・予約有無による搬送動作実行条件とを記憶する記憶手段と、前記搬送動作実行条件を満足するか否かを判別する判別手段と、前記判別手段の判別結果に従って、被加工物を前記加工順番に従って前記搬送動作で搬送し、複数の指示された加工手段に、指示された順番で搬入・搬出し、前記被加工物に、前記複数の指示された加工手段による複合加工を行うように指令を発する制御手段とを有する複数加工手段を備えた複合加工装置において、前記制御手段が、被加工物の搬送先への予約は前記加工終了点検出手段の加工終了点検出後に指示し、前記中継部から2つ以上の同一加工手段への予約は被加工物が前記加工順番に従って前記中継部に到着した直後に2つ以上の同一加工手段の総てに行うように指示する機構を具備することを特徴とする複数加工手段を備えた複合加工装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 41/02 , B65G 1/137 , B65G 37/02 , G05B 19/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭59-214549
特開平2-078243
特開昭59-214549

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