特許
J-GLOBAL ID：200903003967631889
半導体素子のテストハンドラの素子搬送装置の作業位置の認識方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉武 賢次 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-358273
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194879
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 半導体素子の種類に応じて差替キットの仕様及び素子搬送装置の作業位置を、正確且つ迅速で、自動的に認識することのできるハンドラの素子搬送装置の作業位置の認識方法を提供する。【解決手段】 素子搬送装置に画像入力装置を固設し、素子搬送装置をトレイの上側からトレイの必要な情報を獲得する第1段階と、素子搬送装置を各差替キットに搬送して差替キットの各々に付着している認識標の画像情報を獲得すると共に差替キットの原点を獲得する第2段階と、ハンドラの制御ユニットに入力された半導体素子の種類と認識標の情報を比較して半導体素子と差替キットの種類が一致するか否かを判断する第3段階と、第1、2、3段階の処理で得られた画像情報によって素子搬送装置の作業位置を計算する第4段階とを備える。
請求項（抜粋）：
テストする半導体素子及びテスト済みの半導体素子を収納するトレイと、テスト途中の半導体素子を装入する複数のシャトル、及び、半導体素子が装着されてテストが行われるテストソケットを含み、それぞれの片面に差替の各種データを有する認識標が設けられた差替キットと、ハンドラ本体の上側に水平搬送が可能なように取り付けられたハンドラの制御ユニットの命令によって半導体素子をピックアップして搬送する素子搬送装置と、前記素子搬送装置に固設された画像入力装置と、前記画像入力装置によって獲得された画像を解析して処理する画像処理部とを備えたハンドラで前記素子搬送装置の作業位置を認識するための方法において、前記素子搬送装置をトレイの上側から横方向及び縦方向に搬送し画像入力装置によってトレイの必要な情報を獲得する第1段階と、前記素子搬送装置を各差替キットに搬送して素子搬送装置を片方向に搬送しながら画像入力装置で差替キットの各々に付着している認識標の画像情報を獲得すると共に差替キットの原点を獲得する第2段階と、前記ハンドラの制御ユニットに入力された半導体素子の種類と前記第2段階の処理で獲得された認識標の情報を比較して半導体素子と差替キットの種類が一致するか否かを判断する第3段階と、画像処理部及び制御ユニットで前記第1、2、3段階の処理で得られた画像情報によって素子搬送装置の作業位置を計算する第4段階とを備えたことを特徴とする方法。
Fターム (3件)：
2G003AG11
, 2G003AG14
, 2G003AH04
出願人引用 (1件)
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韓国登録特許第10-0261957(2000.4.25)号明細書
審査官引用 (1件)
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