特許

J-GLOBAL ID：200903003969856071

基板搬送装置

発明者： 山本 悟史 ,  平山 喜宣
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055214
公開番号（公開出願番号）：特開平6-239440
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】【目的】 複数の基板搬送機構間で同期させるための調整を容易に行える基板搬送装置を提供する。【構成】 基板Wを搬送する第1の基板搬送機構1と、その第1の基板搬送機構1から基板Wを受け取って後工程に搬送する第2の基板搬送機構2とを設け、第1および第2の基板搬送機構1,2それぞれの基板Wの搬送速度を検知する第1および第2の速度センサ11,20を設け、その速度センサ11,20で検知した搬送速度に基づき、CPU23から第2の電動モータ16に所定の制御信号を出力し、それに印加する電圧を調整して、第2の基板搬送機構2の搬送速度を第1の基板搬送機構1の搬送速度に一致させる。

請求項（抜粋）：

基板を搬送する第1の基板搬送機構と、その第1の基板搬送機構から基板を受け取って後工程に搬送する第2の基板搬送機構とを設けた基板搬送装置において、前記第1の基板搬送機構の基板の搬送速度を検知する第1の速度センサと、前記第2の基板搬送機構の基板の搬送速度を検知する第2の速度センサと、前記第2の基板搬送機構の基板の搬送速度を変更する変速手段と、前記第1および第2の速度センサそれぞれで検知した搬送速度に基づいて、前記第2の基板搬送機構の搬送速度を前記第1の基板搬送機構の搬送速度に一致させるように前記変速手段を制御する変速制御手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (6件)：

B65G 43/08 ,  B65G 23/28 ,  B65G 47/52 ,  B65H 5/02 ,  B65H 7/20 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-125849
  
• 脱穀装置の操作部
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-055840   出願人：株式会社クボタ
• 特開平2-075514