特許
J-GLOBAL ID：200903003970599031
微小変位型情報検知探針素子及びこれを用いた走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、情報処理装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159852
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018741
出願日： 1991年06月05日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 トンネル電流等を用いて情報の記録,再生等を行うにあたり、記録媒体や基板のμmオーダのうねり等及びnmオーダの周期的表面凹凸等の全てに対応して追従することが可能な微小変位型情報検知探針素子を提供することにある。【構成】 基板上に積層した絶縁層を延長して1段目の片持ばり701を形成し、該1段目の片持ばり上に、電極部材間に圧電材料を挟持した層構造708〜710を設け、該層構造を有した片持ばりの先端から延長上に、さらに2段目の片持ばり702を形成すると共に該2段目の片持ばりの自由端部に情報検知探針703を形成し、前記層構造の電極間に電圧を印加することで生じる逆圧電効果を利用して、前記1段目の片持ばり701を変位させる構成とした微小変位型情報検知探針素子、を特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板上に積層した絶縁層を延長して1段目の片持ばりを形成し、該1段目の片持ばり上に、電極部材間に圧電材料を挟持した層構造を設け、該層構造を有した片持ばり面内又は片持ばり先端から延長上に、さらに2段目の片持ばりを形成すると共に該2段目の片持ばりの自由端部に情報検知探針を形成し、前記層構造の電極間に電圧を印加することで生じる逆圧電効果を利用して、前記1段目の片持ばりを変位させる構成としたことを特徴とする微小変位型情報検知探針素子。
IPC (4件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01J 37/28
