プラズマの発生装置及び発生方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021375
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295797
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】高価なチューニング及び冷却機構を必要とすることなくプラズマを発生させる装置及び方法を提供する。【構成】サーファトロン12が、同軸導波管30の区域に結合されてそれらの間の交点にて空胴28を規定する第1導波管32を含んで設けられている。同軸導波管30は外側円筒36及び外側円筒36内に配置された内側円筒34を含む。内側円筒34は導波管32の第1区域の壁に接近して配置された端を有する。空間40は、内側円筒34の端及び導波管32の壁の間に規定される。放電管22は、内側円筒34内に配置された第1部分及び内側円筒34の端及び導波管32の壁の間で空間40を通し延出する第2部分を有して設けられている。コイル38は内側円筒34の端及び導波管32の壁の間で空間40を通り延出する放電管22の一部の周りに配置されている。

請求項（抜粋）：

第1導波管と、この第1導波管に結合されて当該第1導波管との交点にて空胴を規定する同軸導波管であって、外側円筒とこの外側円筒内に配置された内側円筒を含み、空間がこの内側円筒の一部及び前記外側円筒の一部の間に規定されそして前記第1導波管の壁に接近して配置された端を有し、空間が前記端と前記壁との間に規定されるようにした同軸導波管と、前記内側円筒内に配置された第1部分及び前記内側円筒の前記端及び前記壁の間で前記空間を通り延出する第2部分を有する放電管と、前記端及び前記壁の間で前記空間を通り延出する前記放電管の前記一部の周囲に配置されたコイルを含むプラズマの発生装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-283745
特開平2-215038
特開平3-095899

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