特許

J-GLOBAL ID：200903003975035764

マイクロレンズ用感放射線性樹脂組成物

発明者： 下川 努 ,  嶋田 篤文 ,  遠藤 昌之 ,  別所 信夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284585
公開番号（公開出願番号）：特開平6-136239
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【構成】 (a)アルカリ可溶性樹脂、(b)1,2-キノンジアジド化合物、(c)エポキシ基を分子内に2個以上含有する化合物、(d)メラミン類、および(e)トリハロメチルトリアジン類またはオニウム塩類を含有するマイクロレンズ用放射線感応性樹脂組成物。【効果】 レンズパターン形成時に高感度、高解像度、高残膜率を示すという優れた性能を示し、かつ、マイクロレンズを作成する際の加熱条件依存性が小さく、しかも得られたマイクロレンズが高屈折率で、サブミクロンオーダーの耐熱変形性、耐溶剤性、透明性、下地との密着性に優れている。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)1,2-キノンジアジド化合物、(c)エポキシ基を分子内に2個以上含有する化合物、(d)一般式(I)【化1】(式中、R1〜R6は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または基-CH2ORを示し、Rは水素原子またはC1〜C6のアルキル基を示す)で表わされるメラミン類、および(e)一般式(II)【化2】(式中、Xはハロゲンを表わし、AはCX3または下記一般式【化3】で表わされる基を示し、そしてB、DおよびEは、それぞれ独立に水素、C1〜C10のアルキル基、アリール基またはアルコキシ基、アリールオキシ基、チオアルキル基、チオアリール基、ハロゲン、シアノ基、ニトロ基、C1〜C10アルキル基のついた三級アミノ基、カルボキシル基、水酸基、C1〜C10のケトアルキル基もしくはケトアリール基、C1〜C20のアルコキシカルボニル基もしくはアルキルカルボニルオキシ基を示し、そしてmは1〜5の整数を示す)で表わされるトリハロメチルトリアジン類または一般式(III)【化4】(式中、Aの定義は上記式に同じであり、Zは硫黄またはよう素を示し、YはBF4、PF6、SbF6、AsF6、p-トルエンスルホナート、トリフルオロメタンスルホナートまたはトリフルオロアセテートを示し、そしてnは2または3を示す)で表わされる光酸発生剤として機能するオニウム塩類を含有することを特徴とするマイクロレンズ用放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5件)：

C08L 63/00 NJN ,  C08G 59/40 NJE ,  C08K 5/28 NLB ,  C08K 5/3492 NLB ,  G02B 1/04