特許
J-GLOBAL ID：200903003975609876
静電3極レンズ、イオン注入装置及びイオンビームの集束方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120357
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312770
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】高電流で低いエネルギーのイオン注入装置に利用される静電レンズアセンブリを提供すること。【解決手段】イオン注入装置10に使用する静電3極レンズ36は、ターミナル電極37と、各々対応する湾曲表面を有し、抑制電極38と分析電極39を含む調整可能なレンズサブアセンブリ40を有する。抑制電極及び分析電極は、それぞれ、各ギャップによって分離された第1,第2部分を有する。同時に運動機構は、抑制電極及び分析電極の第1部分をそれぞれの電極の第2部分から引き離す方向に移動し、各ギャップを調整する。 ターミナル電極37によって出力されるイオンビームを、作動の減速モード時、相互に直交する分散および非分散平面においてビームを可変して集束させ、作動の加速モード時、分散平面における質量分析を変更することによりギャップを調整する。
請求項（抜粋）：
イオンビームを放出するためのターミナル(17)と、このターミナルによって放出されるイオンビームを案内するためのビームライン部(15)と、このビームライン部によって案内されたイオンビームを受け入れるターゲット部(16)とを備え、前記ビームライン部(15)は、第1平面におけるイオンビームを調整可能に質量分析するための静電レンズ(36)を含んでおり、この静電レンズは、(a) 第1,第2部分(37A,37B) を有し、その間に形成されるギャップ(d37) 内をイオンビームが通過するターミナル電極(37)と、(b) 第1,第2部分(39A,39B) を有し、その間に形成されるギャップ(d39) 内をイオンビームが通過する分析電極(39)と、(c) 可変電圧が印加され、前記ターミナル電極と分析電極の間に配置され、しかも第1,第2部分(38A,38A) を有し、その間に形成されるギャップ(d38) 内をイオンビームが通過する抑制電極(38)と、(d) 前記抑制電極及び分析電極の各第1部分(38A,39A) が、それぞれ前記抑制電極及び分析電極の各第2部分(38B,39B) に接近離間するように同時に移動するための運動機構(60,62) と、を備えていることを特徴とするイオン注入装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, H01J 37/12
, H01L 21/265
, C23C 14/48
H01J 37/317 Z
, H01J 37/12
, C23C 14/48 A
, H01L 21/265 603 B
