特許
J-GLOBAL ID：200903003982292764
弾性表面波変換器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-059755
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231238
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】本発明は電極間で膜厚差をもつ或いは電極材料の異なる電極を用いた分散型の弾性表面波変換器を得る方法とその方法を用いた電子装置を得ることを目的としている。【構成】圧電体基板上に作製された分散型のすだれ状電極において、λ/8の電極幅の電極において、負電極の間をλ/2の間隔とした構造、或はその間に浮き電極を挿入した構造とすることにより、アップ方向に一方向性を得る分散型の弾性表面波変換器が本特許の主構成である。また、この変換器の作製法として、電源に接続された電極の一部を陽極酸化によりレジスト膜にする方法、或いは電気分解法、或いは電気メッキ法などを用いて、電極との間に膜厚差をもたせる作製法或いは電極間で一部が異なる材料を得る方法により得られる弾性表面波一方向性変換器が本特許の構成である。
請求項（抜粋）：
圧電性基板1或いは圧電性薄膜をもつ基板1上に作製されたすだれ状電極2(インタデジタル電極)において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ/8からなる電極において、正電極3と負電極4との中心間距離がλ/4、次に負電極4と負電極5の中心間距離がλ/2、次に負電極5と正電極3の中心間距離がλ/4であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極、及びこの構造の分散型すだれ状電極で正電極と負電極の電極膜厚が異なる構造或いは正電極と負電極の電極の材料が一部異なる構造からなる弾性表面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±80%からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 3/08
, H03H 9/44
