表示装置およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋田収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024980
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231955
出願日： 2001年02月01日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】表示画素領域と回路領域とに、結晶粒径や移動度が異なる多結晶シリコン薄膜トランジスタが混在する表示装置を提供することにある。【解決手段】基板上に表示画素領域と回路領域とを有する表示装置であって、前記表示画素領域および回路領域の少なくとも一方には、ソース領域、チャネル形成領域、およびドレイン領域が第1の多結晶シリコン膜から成る第1の薄膜トランジスタと、ソース領域、チャネル形成領域、およびドレイン領域が第2の多結晶シリコン膜から成る第2の薄膜トランジスタとが混在して複数個形成され、前記第2の多結晶シリコン膜は、最表面に位置する結晶の平均粒径が、前記第1の多結晶シリコン膜の最表面に位置する結晶の平均粒径より大きい。

請求項（抜粋）：

基板上に表示画素領域と回路領域とを有する表示装置であって、前記表示画素領域および回路領域の少なくとも一方には、ソース領域、チャネル形成領域、およびドレイン領域が第1の多結晶シリコン膜から成る第1の薄膜トランジスタと、ソース領域、チャネル形成領域、およびドレイン領域が第2の多結晶シリコン膜から成る第2の薄膜トランジスタとが混在して複数個形成され、前記第2の多結晶シリコン膜は、最表面に位置する結晶の平均粒径が、前記第1の多結晶シリコン膜の最表面に位置する結晶の平均粒径より大きいことを特徴とする表示装置。

IPC (9件)：

H01L 29/786 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 348 , G09F 9/30 338 , H01L 21/20 , H01L 21/8238 , H01L 27/092 , H01L 27/08 331 , H01L 21/336

FI (10件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/00 348 C , G09F 9/30 338 , H01L 21/20 , H01L 27/08 331 E , H01L 29/78 612 B , H01L 27/08 321 C , H01L 27/08 321 N , H01L 29/78 618 Z , H01L 29/78 627 G

Fターム (87件)：

2H092GA59 , 2H092JA24 , 2H092KA02 , 2H092MA30 , 2H092NA22 , 5C094AA13 , 5C094AA22 , 5C094AA25 , 5C094AA43 , 5C094AA48 , 5C094AA53 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA10 , 5C094EB02 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F048AA05 , 5F048AA07 , 5F048AA09 , 5F048AB03 , 5F048AB05 , 5F048AC01 , 5F048AC03 , 5F048BA10 , 5F048BA16 , 5F048BB03 , 5F048BB09 , 5F048BC06 , 5F048BD00 , 5F048BD10 , 5F048BF02 , 5F052AA02 , 5F052BB07 , 5F052CA04 , 5F052CA09 , 5F052DA02 , 5F052DB03 , 5F052EA11 , 5F052HA01 , 5F052JA04 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE04 , 5F110FF02 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG16 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG45 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HM15 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN78 , 5F110PP03 , 5F110PP05 , 5G435AA16 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435EE37 , 5G435HH12 , 5G435HH13 , 5G435HH14 , 5G435KK05

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