特許
J-GLOBAL ID：200903004009237144

切削装置の排気ダクト及び該排気ダクトを備えたダイシング装置

発明者：
馬上 宗二郎

馬上 宗二郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-116824
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308366
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】切削装置において、切削液を供給しながら被切削物を切削するときに、切削により発生した切削粉が混じった霧状の切削液を、効率よく外部に排出する。【解決手段】霧状の切削液を排気するための排気経路に、切削装置で使用された高圧エアーを流通する高圧エアー流通経路を傾斜させて接続し、排気圧を強力にする。
請求項（抜粋）：
被加工物を切削する切削装置に配設され、切削液を供給しながら切削手段によって被加工物を切削することにより霧状になった切削液を、切削領域から排気するための切削装置の排気ダクトであって、前記霧状になった切削液を排気するための排気口を含む排気経路と、該排気経路に相対的に傾斜して連結し、前記切削装置内で使用された高圧エアーを排気方向に流通させる高圧エアー流通経路とを少なくとも含む切削装置の排気ダクト。
IPC (3件)：
H01L 21/301 ,  B23Q 11/00 ,  B28D 7/02
FI (3件)：
H01L 21/78 A ,  B23Q 11/00 M ,  B28D 7/02
引用特許：
審査官引用 (3件)

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