乾燥装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-194290
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038462
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】乾燥状態の面内均一性を改善することにより品質のよい被膜を形成できる乾燥装置を提供する。【解決手段】ガラスパネル3とヒータ盤2の間にヒータ盤2と直角に仕切り板6を配置すると共に、仕切り板6により区分される領域と電圧を個別に印加できるヒータ素子1の領域とを対応させて、ヒータ素子1に印加する電圧を変化させることにより、ガラスパネル3に形成された被膜の乾燥条件を仕切り板6により区分された領域に対して個別に制御する。

請求項（抜粋）：

被乾燥体を保持すると共に駆動部によって回転されるキャリア、上記被乾燥体と所定の間隔を隔て、対向して面状に配置された熱源、上記被乾燥体と上記熱源の間に、この被乾燥体と熱源面に交差する方向に配置され、上記被乾燥体と上記熱源の間の空間を複数の領域に区分する仕切り板を備えたことを特徴とする乾燥装置。

IPC (3件)：

F26B 23/04 , H01J 9/22 , H01J 9/227

FI (4件)：

F26B 23/04 C , H01J 9/22 A , H01J 9/227 C , H01J 9/227 D

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