特許

J-GLOBAL ID：200903004018236320

石英ガラス表面加工方法

発明者： 剣持 克彦 ,  遠藤 護
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332956
公開番号（公開出願番号）：特開平7-315872
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】 石英ガラス表面に粗い凹凸を化学的加工法で形成する表面加工方法を提供すること。【構成】 石英ガラスの表面を表面加工液で不均一に腐食しその表面に凹凸を形成する石英ガラスの表面加工方法において、表面加工液が20重量%以下の酢酸と7重量%以上のフッ化アンモニウムと4重量%以上のフッ化水素と50重量%を超え80重量%以下の水からなる加工液である石英ガラス表面加工方法。

請求項（抜粋）：

石英ガラスの表面を表面加工液で不均一に腐食しその表面に凹凸を形成する石英ガラスの表面加工方法において、表面加工液が20重量%以下の酢酸と7重量%以上のフッ化アンモニウムと4重量%以上のフッ化水素と50重量%を超え80重量%以下の水とを含有する加工液であることを特徴とする石英ガラス表面加工方法。

IPC (3件)：

C03C 15/00 ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/22 501

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-047744
  
• 特開昭57-047744