特許
J-GLOBAL ID：200903004018352592
圧電素子アレイ及び形状可変鏡及びその組立方法及び補償光学装置及び天体望遠鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209401
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066463
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 形状可変鏡を駆動する複数の積層型圧電素子の実装密度を高め、且つ形状可変鏡のメンテナンス性を高める。【構成】 台座3の平面上に積層型圧電素子1の複数個を横一列に配置し該積層型圧電素子間及び周囲を絶縁材で充填し被覆した圧電素子アレイ6の上記各積層型圧電素子1毎にピン9を取付け、該ピン9を取付けた圧電素子アレイ6の複数個を鏡筒7に縦一列にネジ8により取付け、その後、プレ-ト10を挿入して上記各ピン9の高さを揃えるために研磨し、研磨後プレート10を取外し、上記各ピン9とミラ-11を温度により接着力が変わる接着剤4で接続して成る。この形状可変鏡によれば、積層型圧電素子1を横一列に配置した後、絶縁材4で被覆する構造のため、絶縁材4を薄くできるために実装密度を高くでき、圧電素子アレイ6とミラ-11が取外し可能な構造のためメンテナンス性を向上できる。
請求項（抜粋）：
圧電材料とその両側に導電材を正負の電極として取付けた圧電素子を複数枚積層し該各圧電素子を電気的に並列に接続した積層型圧電素子の複数個を平板上に1次元的に配列し、該配列した積層型圧電素子間及び周囲を絶縁材で充填し被覆して成ることを特徴とする圧電素子アレイ。
IPC (5件)：
H01L 41/083
, G01J 1/04
, G02B 23/12
, G02B 26/00
, H01S 3/00
