特許
J-GLOBAL ID:200903004022082036
プローブユニット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中畑 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-357541
公開番号(公開出願番号):特開2000-180473
出願日: 1998年12月16日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】絶縁シート上に多数のリードを並列して延在せしめたプローブユニットにおいて、各リードの高さを均一にし、接触圧のバラツキの問題を有効に解消する。同時に各リード自身の強度と絶縁シートとの貼り合わせ強度を強化し、加圧接触用のリード先端部の剥離の問題や弾性不足の問題を有効に解消する。【解決手段】絶縁シート1の表面に並列して延在した多数のリード2の先端部端末2aを、電子部品3の各電極パッド4に夫々加圧接触させるようにしたプローブユニットにおいて、各リード2の少なくとも先端部間の溝5内を絶縁材6で埋め、該各リード間絶縁材6及び各リード2の上記絶縁シート1とは反対側の各先端部表面を同一平面となるように研磨して各先端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃えた構成にし、更にリード先端部端末2aを上記リード間絶縁材6と一緒に傾斜面となるように研磨し、これを接触に供する。
請求項(抜粋):
絶縁シートの表面に多数のリードを並列して延在し、該シートの端縁に沿い整列して配置された各リードの先端部端末を電子部品の各電極パッドに夫々加圧接触させるようにしたプローブユニットにおいて、各リードの少なくとも先端部間の溝内を絶縁材で埋め、該各リード間絶縁材及び各リードの上記絶縁シートとは反対側の各先端部表面を同一平面となるように研磨して各先端部の厚み方向の高さを該一平面上に揃えた構成を有することを特徴とするプローブユニット。
IPC (2件):
G01R 1/073
, G02F 1/13 101
FI (2件):
G01R 1/073 F
, G02F 1/13 101
Fターム (10件):
2G011AA15
, 2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 2H088FA11
, 2H088HA05
, 2H088MA20
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