静電容量式加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-171281
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035983
出願日： 1994年07月22日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】作業性の向上によりコストダウンを実現するとともに、寄生容量に対して影響を受けにくく精度の高い静電容量式加速度センサを得る。【構成】加速度に応じて変位する可動電極3と、可動電極に対して所定の間隙を介して対向配置された固定電極6と、可動電極および固定電極を電気的に接続し且つ機械的に保持するための基板とを備え、可動電極と固定電極との間の静電容量変化により加速度を検出する静電容量式加速度センサであって、可動電極の長手方向が基板の平面方向に対して垂直となるように、可動電極および固定電極を基板上に立設し、加速度の検出方向αと基板の平面方向とを一致させ、寄生容量に対して受ける影響を相殺して加速度検出精度を向上させるとともに、要求頻度の多い水平方向の加速度検出に対して組付作業を簡略化する。

請求項１：

加速度に応じて変位する可動電極と、前記可動電極に対して所定の間隙を介して対向配置された固定電極と、前記可動電極および前記固定電極を電気的に接続し且つ機械的に保持するための基板とを備え、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量変化により加速度を検出する静電容量式加速度センサにおいて、前記可動電極の長手方向が前記基板の平面方向に対して垂直となるように、前記可動電極および前記固定電極を前記基板上に立設し、前記加速度の検出方向と前記基板の平面方向とを一致させたことを特徴とする静電容量式加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-324388 出願人：株式会社日立製作所

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