特許

J-GLOBAL ID：200903004025952287

欠陥検査装置

発明者： 千田 直道 ,  石橋 昌宏 ,  高橋 守
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-278361
公開番号（公開出願番号）：特開2008-098968
出願日： 2006年10月12日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】 複数台のカメラを用いても装置が大型化せず、全てのカメラで同一の画像ずらし量を実現できる欠陥検査装置を実現する。【解決手段】 複数のエリアに分割された検査対象の各分割エリアを、レンズ系及び所定数の画素からなるエリアセンサを備える複数台のカメラで撮像した画像情報を処理し、計算された特徴量に基づいて前記エリアの欠陥を識別する欠陥検査装置において、 前記複数台のカメラを固定配置するカメラボードと、 このカメラボードを、X,Y方向の所定範囲で周期的に移動操作するアクチュエータ手段と、を備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数のエリアに分割された検査対象の各分割エリアを、レンズ系及び所定数の画素からなるエリアセンサを備える複数台のカメラで撮像した画像情報を処理し、計算された特徴量に基づいて前記エリアの欠陥を識別する欠陥検査装置において、 前記複数台のカメラを固定配置するカメラボードと、 このカメラボードを、X,Y方向の所定範囲で周期的に移動操作するアクチュエータ手段と、 を備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5件)：

H04N 5/225 ,  G01M 11/00 ,  G06T 1/00 ,  G01N 21/88 ,  G02F 1/13

FI (5件)：

H04N5/225 C ,  G01M11/00 T ,  G06T1/00 300 ,  G01N21/88 Z ,  G02F1/13 101

Fターム (40件)：

2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB10 ,  2G051CD04 ,  2G051CD07 ,  2G051EA16 ,  2G051EA24 ,  2G051ED14 ,  2G051ED21 ,  2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  5B057AA02 ,  5B057BA02 ,  5B057BA17 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CD05 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5C122DA12 ,  5C122EA30 ,  5C122EA54 ,  5C122EA55 ,  5C122EA67 ,  5C122FA18 ,  5C122FC01 ,  5C122FC02 ,  5C122FE02 ,  5C122GD01 ,  5C122GD06 ,  5C122HA82 ,  5C122HB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-069085   出願人：ソニー株式会社