特許

J-GLOBAL ID：200903004027524177

超精密加工機の真直度補正システム

発明者： 横山 有史
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-234866
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076141
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 スライドテーブルの真直度誤差を補償して被削材の形状精度劣化を防ぐことができる超精密加工機の真直度補正システムを提供する。【解決手段】 直交する2つのX及びZテーブル5,10のうちワーク8をトラバースするXテーブル5の真直度誤差をマイクロセンス9で検出し、この検出値に対応してバイト9側を微小変位すべく微動ステージ11を前記バイトを切り込み方向に送るZテーブル10上に設けた。

請求項（抜粋）：

ワークをトラバースする第一テーブルと、該テーブルの真直度誤差を検出する真直度誤差検出装置と、同第一テーブルに直交して工具に送りをかける第二テーブルと、該テーブル上に設けられて前記工具を微小変位させる微動ステージと、前記真直度誤差検出装置からの検出値に基づいて真直度を補正すべく前記微動ステージを駆動制御する制御回路とを備えたことを特徴とする超精密加工機の真直度補正システム。